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JIMA RT RC-04分辨率測試卡

  • 產(chǎn)品型號:
  • 更新時間:2024-07-31

簡要描述:JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設(shè)置和測試微焦X射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測試模式

產(chǎn)品詳情
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JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設(shè)置和測試微焦 X 射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率,對應(yīng)于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應(yīng)用于硅載體

JIMA RT RC-04分辨率測試卡特點:


測試卡封裝在一個防護盒中

盒子的外形尺寸(W×D×T):40×30×5mm

芯片尺寸(W×D×T):5×5×0.015mm

圖案布局:T型

線/空間尺寸:32種規(guī)格圖案,

0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,

0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm,7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm,

 
  • 每個測試圖案由 8 條線組成,T 形布局

  • 吸收材料:鎢,厚度>=650nm

  • 保護膜:PET膜25μm(含粘合劑)

  • 硅基:15 µm +/- 1 µm(厚度)

  • 外殼尺寸:40 x 30 x 5 毫米(寬 x 高 x 深)

  • 芯片尺寸:5 x 5 x 0.06mm(寬 x 高 x 深)

  • 精度模式: 公差: +/- 10%

  • 適用范圍工作溫度:10°C至70°C


用途:
在 X 射線系統(tǒng)的分辨率測試。選擇檢測器、樣品和試管之間的距離,以便獲得盡可能高的放大倍數(shù)。現(xiàn)在選擇所需的 X 射線參數(shù)。將測試圖案放置在試管前面,以便一束線條中的每條線條清晰可見。使用機械手進行溶出度測試,使下一個最小的線束變得可見。只要線條清晰,就繼續(xù)。以下近似適用:焦點尺寸等于分辨率乘以 2。



JIMA RT RC-04分辨率測試的布局+封裝

JIMA RT RC-04分辨率測試卡

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